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              長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量


              SOM245/10

              SOM255/10

              SOM200系列長短寸測量設備配合光刻機,用于長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量。
                 產品特征

              ● 多功能測量,長寸測量同時兼容CD/Overlay測量及光刻膠膜厚測量

              ● 高測量精度,CD測量重復性30nm,TP測量重復性280nm,滿足高分辨率光刻的測量需求

              ● 高測量效率,采用橋式結構,更穩定更高速

              ● 高效的溫度控制系統

              ● 快速靈活的客制化服務

                 主要技術參數

               型號

              SOM245/10 

               SOM255/10

               CD測量重復性

               30nm@3Sigma

               30nm@3Sigma

              CD測量復現性

              50nm@3Sigma 

               50nm@3Sigma

               TP測量重復性

               280nm@3Sigma

              300nm@3Sigma

               TP測量復現性

              400nm@3Sigma 

              450nm@3Sigma

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