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              晶圓缺陷自動檢測設備 —— IC先進封裝工藝中晶圓圖形缺陷檢測


              SOI500

              SOI600

              SOI500晶圓缺陷自動檢測設備專用于IC先進封裝工藝中的晶圓圖形缺陷檢測,兼容6英寸、8英寸和12英寸晶圓。該設備可滿足IC先進封裝中的OQC出貨檢查、顯影后檢查、刻蝕后或電鍍后檢查等多種不同工藝檢測需求。
              SOI600可用于前道IC制造產線的ADI/AEI檢查,它除了可以對硅片的正面進行微觀缺陷檢查和拍照,還可以對硅片正面、邊緣和背面的宏觀缺陷進行檢查和拍照。
                 產品特征

              ● 配置豐富的成像照明系統

              ● 出色的殘膠檢測功能

              ● 智能檢測分析

              ● 支持多種物料接口

              ● 離線軟件

                 主要技術參數

              型號 SOI500
              基底尺寸 150mm/ 200mm/ 300mm
              照明模式 Dark field and bright field
              倍率 1X, 2X, 3.5X, 5X, 10X, 20X
              工件臺

              X/Y/Rz axis, independent Z axis


              型號 SOI600
              硅片尺寸 200mm
              微觀缺陷檢查 Multi point automatic photograph
              正面及邊緣宏觀缺陷檢查

              Rx, Ry flipping range: -35 degree~35 degree

              Rz Rotation range: 0 degree ~360 degree
              背面宏觀缺陷檢查

              Rx flipping range: 0 degree ~180 degree

               宏觀相機像素  2048×2048
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